239920 20210922173105.0 BMWi G:(BMWi)0324351 0324351 Dimensions G:(Dimensions)grant.7898536 grant.7898536 G:(BMWi)0324351 Touch - Technologie- und Charakterisierungsplattform für die Entwicklung von hoch-effizienten Silizium-Heterostruktursolarzellen 2018-11-01 - 2022-04-30 I:(DE-588b)1045949302 Federal Ministry for Economic Affairs and Energy BMWi Das Ziel des Vorhabens ist die Erweiterung der Prozesstechnologie zur Herstellung von Silizium-Heterojunction Solarzellen (SHJ). Dazu ist die Inbetriebnahme und das Einfahren einer Sputteranlage zur Abscheidung von transparenten, leitfähigen Oxiden (TCO), oai:juser.fz-juelich.de:895775 authority:GRANT authority G AUTHORITY oai:juser.fz-juelich.de:895775