Verbundprojekt: Entwicklungsarbeiten zur Dünnschicht-Si-Photovoltaik: Einsatz von kontinuierlicher VHF-Plasma-CVD mittels Linearquellen zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H Solarzellen
Grant period
2008-03-01 - 2011-09-30
Funding body
Federal Ministry for Economic Affairs and Energy
BMWi
Grant number
grant.7899337
Identifier
G:(BMWi)0325024A
Note: Das Projekt befasst sich mit der Deposition von Dünnschicht-Silizium Solar zellen mit einer neuartigen Depositionsmethode, der kontinuierlichen (dynamischen) Beschichtung mit Hilfe einer Very High Frequency Linienquelle. Dieses Ver fahren, bei dem das z
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