Beitrag zur CVD-Ablagerung von epitaktischen Diamantschichten auf Siliciumsubstrat bei Verwendung eines neuartigen Nukleationsverfahrens

Grant period1993-03-01 - 1995-03-31
Funding bodyFederal Ministry of Education and Research
 BMBF
Grant numbergrant.8014635
IdentifierG:(BMBF)03M2741 /2

 

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 Record created 2021-09-20, last modified 2021-09-22