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Verbundprojekt: Erforschung nanoelektronischer Höchstleistungs-Bauelemente für innovative Elektronik auf Basis neuer Materialsysteme - ForMikro-SiGeSn-NanoFETs - , Teilvorhaben: CVD-basierte Herstellung von SiGeSn-Halbleiterheterostrukturen und vertikalen
| Grant period | 2019-10-01 - 2023-09-30 |
| Funding body | Federal Ministry of Education and Research |
| BMBF | |
| Grant number | grant.8715798 |
| Identifier | G:(BMBF)16ES1074 |
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Record created 2021-09-20, last modified 2021-09-22