Record #304068 - GSI Repository

DFG project G:(GEPRIS)431751377

Mehrkammer Sputteranlage

Coordinator	Professor Dr. Martin Ziegler
Grant period	2020
Funding body	Deutsche Forschungsgemeinschaft
	DFG
Identifier	G:(GEPRIS)431751377

Note: Zur Herstellung memristiver Bauelemente wird ein Leistungsfähiges PVD-System für Forschung und Pilot-Produktionen beantragt. Das System soll die Sputter-Deposition von verschiedenen magnetischen und nicht magnetischen Materialien ermöglichen, sowie für reaktive Sputter-Prozesse von Oxid- und Nitrid-Schichten geeignet sein. Dafür soll die Anlage gleichermaßen für leitfähige wie für nichtleitfähige/isolierende, magnetische und nicht-magnetische Substrate und Substratmaterialien verwendbar sein. Im speziellen wird eine Anlage beantragt mit 5 unabhängigen Vakuumkammern: Eine Einschleuskammer, eine Transferkammer mit Vakuumroboter, 2 Sputterkammern mit insgesamt 6 Sputterquellen (wovon eine für Forschungsprojekte und die zweite für Pilot-Produktionen genutzt wird), Oxidationskammer für Tunnelbarrieren mit integriertem RF-Bias zur Substratreinigung. Die Prozessrichtung soll in der sputter-down Konfiguration erfolgen. Ein eigenes Turbomolekular-Pumpsystem für jede Kammer ist erwünscht. Die Schichtabscheidung soll durch konfokal angeordnete Magnetron-Sputterquellen mit DC-, pulsed DC und RF-Versorgung möglich sein. Ein regelbarer Prozessgas-Einlass und manipulierbare 6 Zoll-Substratstufen (Rotieren, Heizen, Kühlen, RF-Bias, Gradientenblende) sind zudem vorgesehen zur Entwicklung neuartiger funktionaler Schichten für memristive Bauelemente. Individuell einstellbarer Target-/ Substrat-Abstand sollen die Abscheidung dünner Schichten mit einer guten Homogenität über den Wafer ermöglichen. Herausnehmbare Schutzbleche aus Edelstahl sollen zur Reduzierung unerwünschter Beschichtung auf den inneren Prozesskammer-Oberflächen beitragen. Außerdem soll die beantragte Anlage über einen automatischen, rezeptgesteuerten Beschichtungsablauf, der programmierbar durch den Anlagennutzer ist, verfügen für eine reproduzierbare Herstellung memristiver Bauelemente.

Recent Publications

There are no publications

Record created 2023-01-31, last modified 2024-09-28

Similar records

Add to personal basket
Export as Author List with IDs BibTeX (UTF-8), EndNote XML, EndNote Text, RIS, MARC, Print MARC, MARCXML, DC,
Request correction
Submit fulltext

GSI Homepage \| GSI Library \| English Deutsch \| guest :: login GSI Repository
Search	Submit	Personalize Your alerts Your baskets Your searches	Help