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000306538 040__ $$aGEPRIS$$chttp://gepris.its.kfa-juelich.de
000306538 150__ $$aAutomatisierte Segmentierung, Registrierung und Fusion von Messpunktwolken zur Prüfung von Mikrobauteilen mit Standardgeometrie Elementen$$y2004 - 2012
000306538 371__ $$aProfessor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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000306538 5101_ $$0I:(DE-588b)2007744-0$$aDeutsche Forschungsgemeinschaft$$bDFG
000306538 550__ $$0G:(GEPRIS)5472016$$aSPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen$$wt
000306538 680__ $$aZur Verkürzung der Prüfzeiten von Mikrobauteilen, die durch Standardgeometrie Elemente (Zylinder, Ebene, u.a.) begrenzt werden, bietet sich der Einsatz optischer Messverfahren an, bei denen alle aus einer Ansicht sichtbaren Oberflächenelemente in einer Messpunktwolke erfasst werden (Registrierung). Durch Zusammenfügen (Datenfusion) der Teil-Bilder (Punktewolken) aus unter-schiedlichen Ansichten wird ein vollständiges messtechnisches Abbild der gesamten Ist-Oberfläche (auch der Lage der Standardgeometrie Elemente zueinander) erzeugt und daran die Konformitätsprüfung der geometrischen Eigenschaften durchgeführt. Bei der bisher manuell durchgeführten Segmentierung der Punktewolke wird jeder einzelne Punkt einem Geometrie Element zugeordnet, was insbesondere in den Übergangsbereichen aufgrund der gerade bei den in der Mikrotechnik üblichen kleinen Abmessungen und bei den hier vorliegenden oft großen Mikrogestalt- und (meist zufälligen) Messabweichungen wenig reproduzierbar ist. Ziel des beantragten Vorhabens ist es, allgemeingültige Regeln für die rechnergestützte Segmentierung sowie ein funktionsorientierten Prüfzielen gerecht werdendes Verfahren zu Registrierung, Datenfusion und Auswertung zu erarbeiten und anhand ausgewählter Bauteile die Leistungsfähigkeit für den Soll-Ist-Vergleich geometrischer Kenngrößen (Maße, Winkel sowie Form- und Lageabweichungen) unter Beweis zu stellen.
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