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| Patent | GSI-2013-01065 |
2012
Patent No.: DE102010061178A1; DE102010061178
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Energiefiltervorrichtung für Teilchenstrahlung geladener Teilchen, die zumindest eine Fokussierungseinrichtung, sowie zumindest eine Strahlungsseparationsvorrichtung aufweist. Die zumindest eine Fokussierungseinrichtung ist dabei als energieabhängige Fokussierungseinrichtung ausgebildet.
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